一、設(shè)備介紹

超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備，配備品質(zhì)皮秒激光器，通過(guò)超高峰值功率的皮秒激光在玻璃晶圓內(nèi)部產(chǎn)生非線性自聚焦效應(yīng)，達(dá)到激光成絲切割的效果。該設(shè)備還可應(yīng)用于各類透明脆性材料的快速劃線、切割。

二、設(shè)備特點(diǎn)

? 高性能皮秒激光器具有超高峰值功率、高光束質(zhì)量和穩(wěn)定性、超窄脈寬，聚焦光斑極小，約2-3μm，采用全新的貝塞爾激光成絲技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)3mm玻璃晶圓一刀切；

? 采用高精密直線電機(jī)和全閉環(huán)光柵檢測(cè)控制系統(tǒng)，加工臺(tái)面可達(dá)400×400mm，保證穩(wěn)定高效生產(chǎn)；

? 配備高像素視覺(jué)定位系統(tǒng)，可抓取各類Mark點(diǎn)及輪廓，實(shí)現(xiàn)高精度圖像定位加工；

? 采用天然大理石的機(jī)床基座、高剛性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)以及減震機(jī)床腳杯，很大程度減輕加速過(guò)程中產(chǎn)生的慣性震動(dòng)，并可有效防止環(huán)境溫度變化引起的床身精度變化。

三、主要性能參數(shù)